Кремнийлік құрылымдар

Кремнийлік құрылымдар (Кремниевые структуры) — төсеніш үстіне салынған кремний кабаттарының және (немесе) одан тұратын қосылыстардың (Si02, Si2N4, және т.б.) реттелген жиынтығы; оның негізінде интегралдық сызбаларды жөне шалаөткізгіш, оптоэлектрондық және т.б. аспаптар жасалады. Кремнийлік құрылымдар қабаттарының әрбіреуінің қалыңдығы төсеніш қалыңдығымен салыстырғанда әлдеқайда жұқа. Қабаттарының саны материалына байланысты

Кремнийлік құрылымдар қарапайым, күрделі және комбинацияланған болып бөлінеді. Қарапайым Кремнийлік құрылымдарға бір қабатты эпитаксиалды; жергілікті облыстары бар; қайтарылған эпитаксиалды; гетероэпиксиалды Кремнийлік құрылымдардар жатады. Күрделі Кремнийлік құрылымдарға көп қабатты эпитаксиалды; жасырын қабаты бар; п*- жөне р+- типті қабаттары бар; комбинацияланған диэлектригі бар Кремнийлік құрылымдардар жатады. Комбинацияланған Кремнийлік құрылымдарға аймақтары диэлектрлік оқшауланған; жасырын қабаты бар жұқа эпитаксиалды-үдірілі; диэлектриктегі Кремнийлік құрылымдардар жатады.