Рентгеношаблон
Навигацияға өту
Іздеуге өту
Рентгеношаблон (рентген және schablone — үлгі) — үстіне перделейтін қабат салынған (берілген конфигурациядағы рентген сәулесіне мөлдір емес жабылғысы бар) жұмсақ рентген сәулесі өтіп кететін жұқа мембранадан және оны ұстап тұратын негізден тұрады. Рентгенорезист толқын ұзындығы X = 0,2—5,0 нм рентген сәулесімен жарықтандыру арқылы оған литография процесінде интегралдық сызба элементтері кескінін түсіруге арналған. Рентгеношаблон мембранасын қалындығы 1—12 мкм органикалық емес (Si, Si02, AljOj, Si3N4,SiC), сондай-ақ полимерлік (полимилид, полиэтилентерефлатат) материалдардан жасайды.[1]
Дереккөздер[өңдеу | қайнарын өңдеу]
- ↑ Қазақ тілі терминдерінің салалық ғылыми түсіндірме сөздігі: Электроника, радиотехника және байланыс. — Алматы: «Мектеп» баспасы, 2007 ISBN 9965-36-448-6
Бұл мақаланы Уикипедия сапа талаптарына лайықты болуы үшін уикилендіру қажет. |
Бұл мақалада еш сурет жоқ.
Мақаланы жетілдіру үшін қажетті суретті енгізіп көмек беріңіз. Суретті қосқаннан кейін бұл үлгіні мақаладан аластаңыз.
|
Бұл — мақаланың бастамасы. Бұл мақаланы толықтырып, дамыту арқылы, Уикипедияға көмектесе аласыз. Бұл ескертуді дәлдеп ауыстыру қажет. |
Бұл — электроника туралы мақаланың бастамасы. Бұл мақаланы толықтырып, дамыту арқылы, Уикипедияға көмектесе аласыз. |