Фотошаблон

Уикипедия — ашық энциклопедиясынан алынған мәлімет
Мұнда ауысу: шарлау, іздеу
Микроэлектроникаға арналған фотошаблон мысалы.

Фотошаблон - мөлдір және қарайтылған бөліктері, яғни микросызбаның қабатты суреті бар шыны перде немесе фотоүлдір. Фотошаблон фотолитография процесінде ИС жасағанда фоторезист қабатын жергілікті жа¬рықтандыру үшін қолданылады. Фотошаблон төсенішін кәдімгі шыныдан (толқын ұзындығы 1 = 300 нм-ден асатын сәулемен жарықтаңцырғанда) немесе кварц шыныдан (1 300 нм) жасайды.[1]

Дереккөздер[өңдеу]

  1. Қазақ тілі терминдерінің салалық. ғылыми түсіндірме сөздігі: Электроника, радиотехника және байланыс. — Алматы: "Мектеп" баспасы, 2007 ISBN 9965-36-448-6