Микроэлектромеханикалық жүйелер

Уикипедия — ашық энциклопедиясынан алынған мәлімет
Мұнда ауысу: шарлау, іздеу

Микроэлектромеханикалық жүйелер (МЭМЖ) (mikroelectromechanical system, MEMS), механикалық және электронды құрылғылар бір жерде байланысатын кішкентай құрылғы. Әдетте көлемі оннан бірнеше жүз мкм-ға жететін жартылай өткізгіш чип болып келеді. МЭМЖ-ға арналған типтік қолданбалы құрылғыларға сенсорлар, тетіктер және қолданбалы элементтер кіреді.