Электрондық литография

Электрондық литография (ЭЛ) - ең жоғары ажырату қабілеті бар, өлшемдері 1 мкм-ден кіші суреттер элементтерін алуға мүмкіндік беретін литография түрі. Сондықиан "Субмикрондық Л" деп де аталады. Жарықтандыру сәуелелнуі ретінде энергиясы 10-30 кэВ үдетілген электрондарыдың фокустелген шоғы пайдаланады. Электрондардың да бройлдық толқын ұзындығы АӘ-нің бөлігіней болғандықтан, ФЛ-да ажырату қабілеттілігін шетейтін дифракция құбылыстарын ЭЛ-де ескермей-ақ қоюға болады. Іс жүзінде сканирлейтін ЭЛ кеңінен қолданылады. Оның мынадай артықшылықтары бар: жіңішке сызықстарды алу мүмкіндігі үлкен; интегралдық схемалардың қажетті топологиясын алу үшін арнайы шаблондардың қажет емес және электрондар шоғының айқындығы терең. Бұлар профильдік беттерде анық кескін алуға жағдай жасайды. Электронорезисті жарықтандырушы компьютердің немесе микропроцессордың жанында орналастырылған бағдарлама бойынша электронды сәулелік қондарғыларда жүргізеді. Сәуле мен шалаөткізгіш пластина бар үстелдің орналасуын анықтау және дәлдеу үшін автоматты сәкестендіру құрылғылары жүйелер, лазерлік интерферометрлер қолданылады, олар арнайы реперлік белгілер арқылы сәйкестендірудің 0,1 мкм дәлдігін қамтамасыз етеді. Бейнелеп жарықтандырушы сәулелену ретінде энергиясы 10-30 кэВ үдетілген электрондардың фокустелген шоғы пайдаланады.