Литография

Литография (гр. lithos — тас және гр. grapho — сурет саламын) — электроникада, интегралдық схемаларды және басқа электрондық аспаптарды жасау үдерісінде металл, диэлектрик немесе шалаөткізгіш қабатында берілген бедерді (суретті) қалыптастыру әдісі. Литография (үдерісі сәулеленуге (оптикалық, УҚ, рентген және т.б.) немесе зарядталған бөлшектер ағынына (электрондардың, иондардың) сезімталдығы жөне ойып-өндеушіге берік резистерді пайдаланумен іске асырылады. Резисторге әсер ететін сәулелену түріне байланысты фоторезисті, электронорезисті, рентгенорезисті және ионорезисті пайдалану арқылы жүзеге асырылатын оптикалық литографияны, электронолитографияны, рентгенолитографияны, ионолитографияны және лазерлік литографияны бөліп қарастырады.