Форвакуумдық үрлегіш

Уикипедия — ашық энциклопедиясынан алынған мәлімет
Jump to navigation Jump to search
Cut through turbomolecular pump.jpg

Форвакуумдық үрлегіш - өте жоғары вакуумды жасайтын үрлегіштің жұмыс істей бастауы үшін қажетті форвакуумды қамтамасыз ететін вакуумдық үрлегіш.[1]

Дереккөздер[өңдеу]

  1. Орысша-қазақша түсіндірме сөздік: Физика / Жалпы редакциясын басқарған э.ғ.д,, профессор Е. Арын – Павлодар: С. Торайғыров атындағы Павлодар мемлекеттік университеті, 2006. ISBN 9965-808-88-0