Үлдірлі плазмалық салу

Үлдірлі плазмалық салу (орыс. Плазменное нанесение пленок) — бұйым бетіне газдық разрядты плазма компоненттері көмегімен (иондар, электрондар, еркін радикадцар және т.б.) үлдірлерді салу әдісі. Үлдірлі плазмалық салу плазмалық технологияның бір бөлігі ретінде электрондық технология бұйымдары (ЭТБ) өндірісінде кеңінен қолданылады. Үлдірлі плазмалық салу көмегімен, мысалы, ИС оқшаулағыш және өткізгіш қабаттарын, агрессивті орталарда, жоғары температурада немесе қарқынды жұмыс істейтін бұйымдардың қорғаушы қабаттарын, декоративтік қабаттарды қалыптастырады. Вакуумдағы Үлдірлі плазмалық салудың негізгі әдістері: ионды-плазмалық, ионды-сәулелік жене плазмохимиялық. Үлдірлерді ионды-плазмалық әдіс арқылы салғанда плазма иондары (энергиясы шамамен 8 • 10"17+ 1,6 • 10"13 Дж) өңделетін бұйым жанында орналасқан арнайы нысананы соққылап, оның бетіндегі затты тозаңдатады. Ол төсеніш үстіне үлдір түрінде тұнады. Мұны катодтық, жоғары жиілікті, магнетронды тозандату түрлерін қолданып жасайды. Ионды-сәулелік әдісте плазмадан иоңдар ағыны бөлініп алынып, жоғары энергиялы шоқ түрінде, плазмадан тысқары аймақта орналасқан нысанага бағытталады; нысананың тозандатылатын заты, тұнатын бұйым да плазма аумағы сыртына қойылады. Үлдірлерді плазмалық-химиялық салу кезінде бастапқы тұнатын заттың компоненттері плазма ішінде, жұмыстық газдың қозуы, диссоциациясы және ионизациясы нәтижесінде пайда болады.