Электрондық зеңбірек

Электрондық зеңбірек (орыс. Электронная пушка) — қажетті пішіндегі және қарқындағы электрондар ағынын алуға арналған құрылғы; электрондық-сәулелік құралдардың негізгі түйіні. Электрондар кезінен (катодтан), электрондарға үдемелі қозғалыс беретін электродтан (анодттан) және электр өрісінің қажетті түрде орнығуын қамтамасыз ететін басқа да электродтардан тұрады. Электрондық-сеулелік құралдардағы электрондық сәулелердің қарқындылығын басқару үшін электрондық зеңбірек құрамына электрлік фокустаушы электрод енгізіледі де, ондай электрондық зеңбірек электрондық прожектор деп аталады. Электрондық зеңбірек электродтар санына қарай триодтық, тетродтык және пентодтық түрде жасалады. Электродтар санының артуына қарай электрондық зеңбіректің ажырату қабілеті, фокустаушы және экрандаушы қасиеттері арта түседі.

Электрондық литография (ЭЛ) — ең жоғары ажырату қабілеті бар, елшемдері 1 мкм-ден кіші суреттер элементтерін алуға мүмкіндік беретін литография түрі. Сондықтан "Субмикрондық Л" деп те аталады. Жарықтандыру сеулеленуі ретінде энергиясы 10 — 30 кэВ үдетілген электрондардың фокустелген шоғы пайдаланылады. Электрондардың да бройльдық толқын ұзындығы АӘ-нің белігіндей болғандықтан (1д6 <0,1 нм), ФЛ-да ажырату қабілеттілігін шекгейтін дифракция қүбылыстарын ЭЛ-де ескермей-ақ қоюға болады. Іс жүзінде сканирлейтін ЭЛ кеңінен қолданылады.

Оның мынадай артықшылықтары бар: жіңішке сызықтарды алу мүмкіндігі (=0,2 — 0,3 мкм) үлкен; интегралдық схемалардың қажетті топологиясын алу үшін арнайы шаблондардың қажет емес және электрондар шоғының айқындыгы терең. Бұлар профильдік бетттерде анық кескін алуга жагдай жасайды. Электронорезисті жарықтандыруды компьютердің немесе микропроцессордың жадында орналастырылган бағдарлама бойынша электронды сәулелік қондырғыларда жүргізеді. Сәуле мен шалаөткізгіш пластина бар үстелдің орналасуын анықтау және дәлдеу үшін автоматты сәйкестендіру құрылғылары (электронды-сәулелік жүйелер, лазерлік интерферометрлер және т.б.) қолданылады, олар арнайы реперлік белгілер арқылы сәйкестендірудің 0,1 мкм дәлдігін қамтамасыз етеді. Бейнелеп жарықтандырушы сәулелену ретінде энергиясы 10—30 кэВ үдетілген электрондардың фокустелген шоғы пайдаланылады.