Резист

Уикипедия — ашық энциклопедиясынан алынған мәлімет
Навигацияға өту Іздеуге өту

Резист (ағылш. resist — кедергі жасау) — сәулелену (УФ, рентгендік, электрондар немесе иондар ағыны және т.б.) әсеріне сезімтал органикалық материал; литографияда берілген топографияның рельефтік жабылғысын қалыптастыруда және төмен жатқан қабатты ойып-өңдеулер әрекетінен қорғау үшін қолданылады.

Резист әдетте сұйық композициялар түрінде (мысалы, органикалық еріткіштегі қосылыстың сәулеленуге сезімтал полимерлік ертіндісі) жұқа қабаттарды (сұйық резист) немесе қалыңдығы 10—100 мкм (үлдірлі резист) үлдірлерді қалыптастырады.[1]

Дереккөздер[өңдеу | қайнарын өңдеу]

  1. Қазақ тілі терминдерінің салалық ғылыми түсіндірме сөздігі: Электроника, радиотехника және байланыс. — Алматы: «Мектеп» баспасы, 2007 ISBN 9965-36-448-6