Рентгенорезист
Навигацияға өту
Іздеуге өту
Рентгенорезист – жұмсақ рентген сәулелелеріне (толқын ұзындығы X = 0,2—5,0 нм) сезімтал резист; органикалық еріткіштегі рентгенге сезімтал полимерлік материал. Рентгенолитография процесіндегі Рентгенорезисттен жасалған қабаттың қалыңдығы әдетте 0,3—1,5 мкм болады. Позитивті және негативті рентгенорезист деп екіге бөлінеді. Негативті рентгенорезисттің сезімталдығы 5-50 мДж/см2, ал позитивті Р-дікі 50—1000 мДж/см2.[1]
Дереккөздер[өңдеу | қайнарын өңдеу]
- ↑ Қазақ тілі терминдерінің салалық ғылыми түсіндірме сөздігі: Электроника, радиотехника және байланыс. — Алматы: «Мектеп» баспасы, 2007 ISBN 9965-36-448-6
 | Бұл мақаланы Уикипедия сапа талаптарына лайықты болуы үшін уикилендіру қажет. |
 | Бұл мақалада еш сурет жоқ.
Мақаланы жетілдіру үшін қажетті суретті енгізіп көмек беріңіз. Суретті қосқаннан кейін бұл үлгіні мақаладан аластаңыз.
|
|
Бұл — мақаланың бастамасы. Бұл мақаланы толықтырып, дамыту арқылы, Уикипедияға көмектесе аласыз. Бұл ескертуді дәлдеп ауыстыру қажет. |
|
Бұл — электроника туралы мақаланың бастамасы. Бұл мақаланы толықтырып, дамыту арқылы, Уикипедияға көмектесе аласыз. |